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MET

身近にある映像ディスプレイの製造装置で世界に貢献

住友精密は、液晶分野においても、確かな技術力で各種の製造装置とそれに関わるプロセス制御技術を開発しています。液晶製造工程のウェットプロセス向け装置としては、エッチング装置・洗浄装置・剥離装置などを、半導体分野では、洗浄装置・キャリア洗浄装置・スピンドライヤなどを市場に投入してきました。

MET部門の強み

  • 大型マザーガラスにも対応する世界水準のエッチング装置

液晶分野

液晶分野では、TFT液晶関連装置の製造技術とこれに関わるプロセス制御技術を開発してきました。ウェットプロセス分野での最新テクノロジーをつぎ込んだエッチング装置、現像装置及び洗浄装置についてお客様より高い評価を得て着実な実績を積み重ねています。また、有機EL等の液晶以外のフラットパネルディスプレイへの対応も可能です。

    • ODF前洗浄装置
    • 大型液晶基板対応型ウェットエッチング装置
    • スピン式洗浄装置

半導体分野

半導体分野では、無塵化と無人化をキーワードに、独自のブラシ洗浄機構を持つキャリア洗浄装置や、航空機器の流体技術を応用して開発されたスピンドライヤを提供し、半導体製造上の最大の課題であるパーティクル(異物)の減少に貢献しています。

    • キャリア自動洗浄装置

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