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MET

身近にある映像ディスプレイの製造装置で世界に貢献

住友精密は、液晶分野においても、確かな技術力で各種の製造装置とそれに関わるプロセス制御技術を開発しています。液晶製造工程のウェットプロセス向け装置としては、エッチング装置・現像装置・洗浄装置などを市場に投入してきました。

MET部門の強み

  • 大型マザーガラスにも対応する世界水準のエッチング装置

液晶分野

液晶分野では、TFT液晶関連装置の製造技術とこれに関わるプロセス制御技術を開発してきました。ウェットプロセス分野での最新テクノロジーをつぎ込んだエッチング装置、現像装置及び洗浄装置についてお客様より高い評価を得て着実な実績を積み重ねています。また、有機EL等の液晶以外のフラットパネルディスプレイへも積極的に対応しています。

    • ODF前洗浄装置
    • 大型液晶基板対応型ウェットエッチング装置
    • スピン式洗浄装置

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