オゾン発生装置
地球環境に貢献する住友精密の技術
強力な酸化力を持つと同時に、分解して酸素に戻るという環境にやさしいオゾンの力。住友精密は、脱色・脱臭・難分解性COD分解等の用排水処理工程への適用をはじめとして、薬品や半導体・FPDなどの製造工程、パルプ・繊維の漂白工程など適用範囲を拡げてきました。地球環境への意識の高まりとともにさらに重要度を増す分野で活躍しています。
オゾン部門の強み
- 高効率かつ高性能なオゾン発生システム
- 最適な水処理提案を可能とする水工学センターの設置
- 難分解性物質分解に対応したAOP（促進酸化）処理技術
公共・産業分野
オゾンは公共分野、産業分野の水処理、製造工程に欠かせない技術です。
当社は空冷式／水冷式の高効率なオゾン発生機を小型から大容量まで幅広いラインアップで用意し、上下水・プール・水族館・産業用水／排水・リサイクル水等の用排水処理向けや食品・工業製品の生産工程向け、またパルプや繊維の漂白工程向け等に多数の納入実績を有します。
また、オゾンを中心とした各種研究開発、実証試験を実施可能な「水工学センター」を設置し、お客様ごとに最適な水処理を提案するとともに、新たなオゾンの利用技術の開発にも取り組んでいます。
- 一般用オゾン発生機（SAGシリーズ）
- PSA内蔵型オゾン発生機（SGAシリーズ）
- 中水オゾン処理装置
難分解性有機物処理分野
オゾンを利用したAOP（促進酸化処理）技術は環境ホルモン様物質や難分解性有機物の分解処理への適用も進んでおり、その用途は拡大の一途を辿っています。
化学工場やゴミ処分場等の排水に含まれるジオキサン、ダイオキシン、フェノール、シアンなどの分解に多数の納入実績を有しています。
- AOP処理システム
- AOP処理システム
半導体・FPD分野
半導体・FPD・機能性材料などのエレクトロニクス分野の最先端製造プロセスにおいても、当社のオゾン発生機・オゾン添加超純水製造装置が活躍しています。
年々要求の高まるパーティクル（異物）・金属不純物の低減、オゾン濃度の高濃度化に対応した新製品の開発と市場投入を続けており、世界最高水準の高濃度オゾン発生機は薬液や超純水の使用量を低減する環境に優しい洗浄プロセスをはじめとして、ALD等新たな酸化膜生成プロセスにも適用されています。
- 高濃度オゾン発生機
- オゾン添加超純水製造装置