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深硅刻蚀设备

在BOSCH 工艺基础上加上独创的技术,用于微机电的深硅刻蚀之缺陷标准化设备。搭载了将设备的性能最大限度发挥的硬件膜组和工艺软件。使优越的加工性能达到世界上最快的刻蚀率,对光阻选择比高,高纵宽比等工艺水平,现今该设备应用于各种各样产品的生产用途上,如陀螺仪传感器,加速度传感器等。

photo:深硅刻蚀设备

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