SUMITOMO PRECISION PRODUCTS Co., Ltd.

SUMITOMO PRECISION PRODUCTS Co., Ltd.

Technology事業概要

MEMSとは

● MEMS:Micro Electro Mechanical Systems
   (微小電気機械システム)
 ➢ 半導体生産にて開発・確立された微細加工技術を駆使・発展使用することにより、2次元集積回路 (LSI) ではない3次元機械構造物として製作されるデバイス

● MEMSプロセス
 ➢ 集積回路 (LSI)が必要としなかった微細加工プロセス 
 ➢Si深掘りエッチング技術(Si-DRIE)

● MEMS応用例
 ➢ ジャイロ、加速度センサ
 ➢ インクジェットプリンターノズル
 ➢ 光通信スイッチ等部品
 ➢ 携帯電話用素子

住友精密の
MEMS事業概要

●住友精密工業(株)MEMSソリューション室:
 ◆ 世界最先端のMEMSソリューションを提供し、ポスト5G・デジタル社会の推進、脱炭素社会の実現に貢献する
  ➢詳細はこちら (PDFファイル) (動画

●住友精密工業(株)MEMS事業室:
 ◆ MEMS素子:
  ➢MEMSジャイロ/加速度センサの設計・開発(*)
 ◆ MEMSジャイロ/加速度センサ応用製品の設計・開発(*)
  (*)は下記シリコンセンシングシステムズ販売品の支援業務)

●(株)シリコンセンシングシステムズ:
 ◆ MEMSジャイロやMEMS加速度センサの製造・販売
 ◆ MEMSジャイロ/加速度センサ応用製品の製造・販売
 ◆ ファンドリーサービス

●SPPテクノロジーズ(株):
 ◆ MEMS素子を生産するためのシリコン深堀エッチング装置の国内トップメーカー。成膜装置他の各種半導体製造装置も製造

●住友精密工業(株) ICT開発室:
 ◆ 圧電薄膜技術の開発:
  ➢高いFOMを示すepi-PZT薄膜の開発

ジャイロの歴史
  • 実用的なジャイロスコープは20世紀初頭に次々と製品化されました。 シリコンセンシングはE・スペリーが1913年に英国に設立したSperry Gyroscope Company Ltdを前身会社としており、100年間にわたりジャイロスコープを設計製造した歴史があります。
  • 1911年、最初のスペリージャイロ(ユニット番号100)が客船プリンセス・アンに搭載され、ニューヨークからバージニア州ハンプトン・ローズまで試験航海を行いました。試験航海後ニューヨークに戻ったユニット100は米国戦艦デラウェアに搭載されました。
  • 1914年、スペリーの三男ローレンス・スペリーはパイロットとしてパリでのデモンストレーションで世界最初の自動操縦装置を成功させました。 また、船体材料の影響を受けないジャイロコンパスは第一次世界大戦中に重要な航海計器として磁気コンパスに替わって普及しました。スペリー式ジャイロは英仏露伊など世界中のジャイロコンパス市場を独占しました。
  • 1929年、ジミー・ドゥーリトルによる最初の計器飛行(無視界飛行)に成功しました。E・スペリーはジャイロスコープ安定化照準器、空中ジャイロコンパス、人工水平無線ビーコン等を組み合わせた初の計器飛行パネルを開発しました。
  • 以降、航空機や船舶、潜水艦などの慣性航法装置、姿勢制御装置、ナビゲーション装置、列車の高速安定制御に使われています。
  • 2001年、最初の自動車制動システム(ESC:Electronic Stability Control)にヨーレートセンサとしてシリコンセンシングのVSG-3 MEMSジャイロが採用されました。 また、電動立ち乗り二輪車SegwayはVSG-3を用いたバランスセンサアセンブリを搭載しました。
  • 2010年、カーナビゲーション向けの小型MEMSジャイロとしてCRM100/200(PinPointR)を発表しました。駆動検出にPZTアクチュエータを用いるVSG-5リング型シリコンMEMSジャイロを採用しています。
  • 現在までに3,000万個を超える生産実績があり、世界中でご愛用いただいております。
慣性センサと慣性センサを用いた応用製品

➢ 慣性センサ
  ➢ 運動体の加速度や角速度、地球の自転や重力を検知するセンサ
➢ 慣性センサを用いた応用製品
  ➢慣性センサ出力に対して演算を行うことで、角度・速度・位置などのセンサの物理量とは異なる情報を提供する装置

慣性センサと慣性センサを用いた応用製品の種類
使用例