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什麽是MEMS?
它被稱為Mems,因為它是Micro Electro Mechanical Systems (微機電係統) 的第一個字母。是指通過運用、發展並使用在半導體生產中開發、確立的微細加工技術，作為非二維集成電路 (LSI) 的三維機械結構物制作的器件。
MEMS工藝
集成電路 (LSI) 不需要的微細加工工藝和硅深度蝕刻技術 (Si-DRIE) 。
MEMS應用實例
陀螺儀、加速度感測器、噴墨印表機噴嘴、光通信開關等零部件、手機用元件
陀螺歷史
實用的陀螺儀在20世紀初陸續商業化。Silicon Sensing的前身是1913年在英國成立的Sperry Gyroscope Company Ltd,擁有100年設計和制造陀螺儀的歷史。
100年陀螺歷史慣性感測器和採用慣性感測器的應用產品
慣性感測器
是指檢測運動體的加速度和角速度、地球的自轉和重力的感測器。
採用慣性感測器的應用產品
通過對慣性感測器輸出進行運算，提供角度、速度、位置等與感測器物理量不同的信息的裝置。
慣性感測器和使用慣性感測器的應用產品的種類
| 縮寫 | 名稱 | 產品名稱 | 輸出數據 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 角速度 | 加速度 | 姿勢角 | 方位 | ||||
| Silicon Sensing Systems | 慣性感測器 | 陀螺儀 | CRM100/200, CRH03, CRS39 |
○ | |||
| 加速度感測器 | CAS200, CAS290 | ○ | |||||
| IMU | 慣性測量裝置 | DMU11, DMU41, MRN-01 (住友精密工業) |
○ | ○ | |||
| 住友精密工業 | VG | 姿態測量裝置 | AMU Lite, AAU-11 | ○ | ○ | ○ | |
| AHRS | 姿態方位基準裝置 | GCAH-12C | ○ | ○ | ○ | ○ | |
不依賴GPS檢測正北的技術品牌
這是通過組合可測量地球自轉角速度的高靈敏度MEMS陀螺儀和新開發的算法而實現的劃時代技術。
獲得正北方位·姿勢角，可以構建真正的陀螺羅盤。
正北檢測原理
- 用3軸陀螺儀測量地球的自轉角速度
- 矢量合成計算正北
