プロトタイピングセンター(PTC)/ファンドリサービス

住友精密グループではこれまで子会社シリコンセンシングシステムズにて 6・8インチMEMSファンドリサービスを展開してきました。
MEMS∞ではこれまでのファンドリを機能拡大します。住友精密工業に営業窓口を移し、「設計開発サービス」「コンサルティング」の機能を加え、試作の「MEMSプロトタイピングセンター」と 量産の「MEMSファンドリサービス」の2つの柱でMEMSデバイスの一貫サポートを行います。

デバイス設計解析・コンサルティング

 ファンドリにて開発試作を行うお客様には、住友精密がこれまで自社製品に向けて蓄積していたANSYS Enterpriseでのデバイス構造解析など設計ノウハウを幅広く展開する目的にて、各種設計解析シミュレータを追加整備したMEMS∞設計センターを2024年度に設立予定です。

デバイス開発試作・デバイス量産

 デバイスの試作・量産は尼崎本社工場の6・8インチMEMSウエハファブ(運営会社・シリコンセンシングプロダクツ)にて実施します。 強み技術である圧電(PZT薄膜)は数多くの実績があります。 また、Si深掘加工は子会社SPPテクノロジーズと連携し、個々のデバイスに対して最適化させた製造プロセスを量産レベルで提供します。
加えてMEMS∞では幅広い顧客ニーズに対応するべく、シリコンセンシングにて従来保有しなかったプロセス装置を2025年度目標に導入整備していく計画です。

デバイス試作評価コンサルティング

デバイス開発専用に350平米のクルーンルームを保有、各種デバイスの評価環境が充実しています。 MEMS∞にて量産化を目指し試作を行うお客様に対して、ご希望により完成したデバイスを支給いただく事で ダイ・パッケージングでの解析を実施し、課題に関するコンサルティングをいたします。 得られたデータを設計にフィードバックさせる事も可能です。

PTCのサービスフロー

MEMS量産ファンドリAPQP

住友精密グループは各部門にて品質マネジメントシステムを保有する方針です。新規設立したMEMS∞でもお客様のデバイス量産移行に向けて品質マネジメントシステムの取得を目指します。

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