住友精密工業株式会社 住友精密工業グループは、航空機装備品、熱交換器や油圧制御、オゾン発生装置や半導体製造装置、モーションセンサーなど、多彩な分野で独自の精密技術・精密なものづくりによるソリューションを提供しています。

MEMS・半導体製造装置事業

	SPPテクノロジーズ株式会社 SPPテクノロジーズ株式会社は、住友精密工業株式会社と英国SPTS Technologies Ltd.との合弁会社になります。 MEMS・半導体関連デバイス製造装置（ドライプロセス装置）の開発・製造・輸入・販売を行っており、国内・世界でもトップクラスのシェアを誇る半導体製造メーカーです。

MEMSデバイス事業

	慣性システム事業室 住友精密工業は業界に先駆けてMEMSの開発・製造に着手し、ジャイロ・加速度センサやセンサ応用システムの量産をしています。 高精度化を実現しすでに宇宙ロケットの姿勢制御や航路をナビゲーションする誘導制御の用途で使われております。
	株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン 株式会社シリコンセンシングシステムズは、住友精密工業株式会社とCollins Aerospace社との合弁会社で、ジャイロセンサの開発、製造、販売を行っています。 また、ジャイロ技術に基づきMEMSファンドリサービスを提供しています。