製品紹介
クリーンオゾン発生機
住友のオゾン発生機は板型放電方式を採用し、原料ガスの一部を電気エネルギーによりオゾンに変えています。
クリーンなオゾンガスを生成するために高純度セラミックスの放電面を使用し、パーティクルや金属コンタミネーションの発生を極限まで抑制しています。
放電方式としては業界トップクラスのオゾン濃度400g/m3(N)の生成を実現しました。
さらに金属コンタミネーション防止として、独自の技術を用いた窒素レスオゾン発生機も取り扱っています。
半導体や液晶等の製造工程において、ドライプロセスやウェットプロセスで多くのお客様にご利用頂き、高い評価を頂いています。
適用分野
- 半導体
- 各種ウェーハ
- FPD（LTPS、HTPS、TFT、カラーフィルター、OLED）
- フォトマスク
- LED
- その他電子デバイス材料のドライプロセス及びウェットプロセス
GRCシリーズ
最大濃度400g/m3(N)のスタンダードなシリーズです。
| 仕様 |
| オゾン流量 |
1L/min～24L/min
〔210g/m3(N)時〕 |
| オゾン供給圧力 |
max.0.2MPa |
| 冷却水温度 |
20℃±2℃ |
| 窒素添加率 |
酸素流量の0.1% |
| 外形寸法 |
W483mm×D453mm×H266mm |
| 重量 |
30～45kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 高濃度400g/m3(N)のオゾンを生成 |
| 19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ |
| 小流量から大流量まで豊富なラインナップ |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合 |
| ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能 |
GRPシリーズ
| 仕様 |
| オゾン流量 |
1.5L/min ～ 5L/min〔350g/m3(N)時〕 |
| オゾン供給圧力 |
max.0.3MPa |
| 冷却水温度 |
20℃±2℃ |
| 窒素添加率 |
酸素流量の0.1% |
| 外形寸法 |
W483mm×D453mm×H266mm |
| 重量 |
30～40kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 高濃度400g/m3(N)、高圧力0.3MPaのオゾンを生成 |
| 19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合 |
| ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能 |
GRFシリーズ
窒素無添加、なおかつ高濃度のオゾン発生機シリーズです。
| 仕様 |
| オゾン流量 |
1L/min ～ 24L/min〔210g/m3(N)時〕 |
| オゾン供給圧力 |
max.0.15MPa |
| 冷却水温度 |
20℃±2℃ |
| 外形寸法 |
W483mm×D453mm×H266mm |
| 重量 |
30～45kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 窒素ガス無添加で高濃度400g/m3(N)のオゾンを生成 |
| 19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ |
| 小流量から大流量まで豊富なラインナップ |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合 |
| ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能 |
SGRC/SGRP/SGRFシリーズ
GRC/GRP/GRFシリーズを組み込み、周辺機器も搭載したシリーズ。
ニーズに対応した幅広いカスタマイズが可能です。
| 装置例1《高濃度マルチガス供給オゾン発生機SGRP-03JS》 |
| オゾン濃度 |
350g/m3(N) |
| オゾン流量 |
15L/min《5L/min×3Line》 |
| 冷却水温度 |
20℃±2℃ |
| 外形寸法 |
W570mm×D850mm×H1,870mm |
| 重量 |
360kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 装置例2《窒素無添加高濃度オゾン発生機SGRF-03JA》 |
| オゾン濃度 |
400g/m3(N) |
| オゾン流量 |
20L/min |
| 冷却水温度 |
5℃ |
| 外形寸法 |
W570mm×D850mm×H1,836mm |
| 重量 |
350kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| GRC/GRP/GRFシリーズを搭載し、お客様のニーズに併せて大流量化やマルチガス供給など カスタマイズ対応が可能 |
| オゾン濃度計を内蔵し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| CE・NRTL認証、SEMIスタンダード準拠 |
| ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能 |
SG-HEシリーズ
オゾン発生機と周辺機器を搭載したコンパクトなシリーズです。
| 仕様 |
| オゾン流量 |
4L/min ～ 14L/min〔210g/m3(N)時〕 |
| 冷却水温度 |
20℃±2℃ |
| 外形寸法 |
W450mm×D600mm×H1,030mm |
| 重量 |
100～110kg |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 流量や圧力の制御機器を内蔵した独立設置タイプ |
| 小流量から大流量まで幅広いラインナップ |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能 |
SGUシリーズ（大流量タイプ）
| 主仕様 |
| オゾン濃度 |
300g/m3(N) |
| オゾン流量 |
140L/min、175L/min、210L/min（200g/m3(N)) |
| 外形寸法 |
W700×D900×H2,154 (140L/min) |
| 冷却水温度 |
20±2℃ |
| 冷却水流量 |
>48L/min |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 最大210L/minの大流量オゾン生成 |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
超高濃度タイプ
| 仕様 |
| オゾン濃度 |
400g/m3(N) |
| オゾン流量 |
20L/min |
| 外形寸法(本体) |
W600×D810×H1,850 |
| チラー用冷却水温 |
30L/min (水温20℃時) |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 400g/m3(N)以上の高濃度オゾン発生を実現 |
| 省フットプリント、コンパクト |
| 水冷式チラー搭載 |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
オールインワンGRFシリーズ
| 主仕様 |
| オゾン濃度 |
210g/m3(N) |
| オゾン流量 |
1L/min～14L/min |
| 外形寸法(本体) |
W483× H266× D454 |
| 冷却水温度 |
20±2℃ |
| 冷却水流量 |
1～10L/min |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ |
| 流量や圧力の制御機器を内蔵 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| 高純度/オゾン（オールセラミック構造放電セルを採用） |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| 用途 |
| 半導体、FPD、その他電子デバイス材料のドライプロセス及びウェットプロセス |
クリーンオゾン水製造装置
住友のクリーンオゾン水製造装置はクリーンオゾン発生機で生成したオゾンガスを超純水に溶解してオゾン水を生成する装置です。
パーティクルや金属コンタミネーションの溶出を極限まで抑制し、半導体、液晶、その他電子デバイス材料の製造工程において、有機物除去や表面改質などの用途で多くのお客様にご利用頂き、高い評価を頂いています。
適用分野
- 半導体
- 各種ウェーハ
- FPD（LTPS、HTPS、TFT、カラーフィルター、OLED）
- フォトマスク
- HDD
SGXシリーズ
独立設置タイプ
| 仕様 |
| オゾン水濃度 |
5～100ppm |
| オゾン水流量 |
1～120L/min |
| オゾン水供給圧力 |
max.0.25MPa |
| 原料ガス |
酸素、（濃度減衰抑制対策として二酸化炭素） |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| 高濃度、大流量にも対応可能 |
| 省フットプリント、コンパクト |
| 安価なランニングコスト（低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命） |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 早い立上りと優れた濃度応答性 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合 |
| 停止時の維持管理が不要 |
| 硝酸フリーオゾン水も対応可能 |
分割タイプ
| 仕様 |
| オゾン水濃度 |
5～150ppm |
| オゾン水流量 |
1～90L/min |
| 原料ガス |
酸素、（濃度減衰抑制対策として二酸化炭素） |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| ユースポイントの近くで溶解させるので配管移送中の濃度減衰を抑制し経済的 |
| フットプリントの低減に貢献（オゾン発生機１台から複数のオゾン溶解部へガス供給可能） |
| 高濃度、大流量にも対応可能 |
| 安価なランニングコスト（低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命） |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| 停止時の維持管理が不要 |
| 硝酸フリーオゾン水も対応可能 |
1 by N 設計
流量可変タイプ
| 仕様 |
| オゾン水濃度 |
5～30ppm |
| オゾン水流量 |
1～60L/min |
| 原料ガス |
酸素（濃度減衰抑制対策として二酸化炭素） |
| 電源 |
AC200V 3相 |
| 特長 |
| オゾン水の使用量に応じて供給流量を可変（純水使用量を低減） |
| オゾン水を複数チャンバーへ供給可能 |
| エジェクタ式溶解の採用により優れた濃度応答性を実現 |
| オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現（フィードバック制御） |
| 硝酸フリーオゾン水 |
| 安価なランニングコスト（低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命） |
| 高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル |
| 停止時の維持管理が不要 |
オゾン周辺機器
オゾンガス/オゾン水分解器
オゾン発生機で生成したオゾンガスやオゾン水製造装置で生成したオゾン水を分解、無害化する機器です。
設備への負担を最小限に抑えます。
| 仕様 |
| ご要求仕様に合せて設計致します |
| インターロックなどシステム化にも対応します |
| 特長 |
| 安価なランニングコスト（電源不要、長寿命） |
| 高濃度オゾンを分解可能 |
| （分解器表面は高温になりますが発火はしません） |
| 容易な維持管理（産業廃棄物として処理可能） |
オゾン濃度計
生成したオゾンガス、オゾン水の濃度を測定する機器です。
オゾン濃度計単体での販売承ります。
オゾンガス、オゾン水の濃度測定のご相談承ります。
