新型コロナウイルス関連の参考資料として「オゾンの除菌効果について」を掲載しました。
オゾン事業の特徴
- オゾンのパイオニア企業
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オゾン発生機の開発､設計､製作に日本で長年取り組んできた実績
- 幅広い製品ラインナップ
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オゾン発生量：数g/h～数百kg/hまでラインナップ
用途別処理ユニット構成機器の充実
- プロセス開発室でのラボ試験実証
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お客様に応じた最適処理､最適オゾン注入量の選定などのきめ細やかな提案
- 専任サービス員によるきめ細やかなアフターサービス
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開発､生産､設計､販売､サービスの一体事業運営による信頼性
オゾン事業の沿革
| 1974 | オゾン発生機の製造・販売を開始 |
| 1987 | 半導体製造プロセス向けに世界最高水準となる14wt%の高濃度オゾン発生機を開発 |
| 1988 | プール水浄化用オゾン発生機の販売を開始 |
| 1991 | TEOS-O3 CVD向け高濃度オゾン発生機の販売を開始 |
| 1993 | 下水処理向け国内最大(100kg)のオゾン発生機を開発し納入 |
| 1996 | 水工学センター開設 |
| 1997 | 半導体洗浄プロセス向けオゾン添加超純水製造の販売を開始 |
| 1999 | 半導体用オゾン発生機GR/SGRシリーズの販売を開始 |
| 2000 | ダイオキシン分解用AOPシステムの販売を開始 |
| 2002 | パルプ漂白用大型オゾン発生機の販売を開始 |
| 2005 | 半導体用途オゾン発生機GRC/SGRCシリーズの販売を開始 |
| 2006 | パルプ漂白向けに国内初オゾンガス供給事業を開始 |
| 2007 | 世界初となる繊維漂白用オゾン発生機の販売を開始 |
| 2009 | 1,4-ジオキサンの処理技術開発 |
| 2010 | 窒素レス・クリーン高濃度オゾン発生機の販売を開始 |
| 2011 | 環境修復向けに1,4-ジオキサン処理装置を販売 |
| 2014 | 小口径円筒多管放電方式(チューブ型)オゾン発生機の販売を開始 |
| 2018 | ビル中水・井水向けオゾン処理ユニットの販売を開始 |
| 2018 | 量産ALD向け大容量オゾン発生機を開発 |