半導体製造分野用

製品紹介

クリーンオゾン発生機

住友のオゾン発生機は板型放電方式を採用し、原料ガスの一部を電気エネルギーによりオゾンに変えています。
クリーンなオゾンガスを生成するために高純度セラミックスの放電面を使用し、パーティクルや金属コンタミネーションの発生を極限まで抑制しています。 放電方式としては業界トップクラスのオゾン濃度400g/m3(N)の生成を実現しました。
さらに金属コンタミネーション防止として、独自の技術を用いた窒素レスオゾン発生機も取り扱っています。
半導体や液晶等の製造工程において、ドライプロセスやウェットプロセスで多くのお客様にご利用頂き、高い評価を頂いています。

適用分野

  • 半導体
  • 各種ウェーハ
  • FDP(LTPS、HTPS、TFT、カラーフィルター、OLED)
  • フォトマスク
  • LED
  • その他電子デバイス材料のドライプロセス及びウェットプロセス

GRCシリーズ

最大濃度400g/m3(N)のスタンダードなシリーズです。

仕様
オゾン流量 1L/min~24L/min
〔210g/m3(N)時〕
オゾン供給圧力 max.0.2MPa
冷却水温度 20℃±2℃
窒素添加率 酸素流量の0.1%
外形寸法 W483mm×D453mm×H266mm
重量 30~45kg
電源 AC200V 3相
特長
高濃度400g/m3(N)のオゾンを生成
19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ
小流量から大流量まで豊富なラインナップ
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合
ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能

GRCシリーズ流量特性
GRCシリーズ
※縦型ユニットもございます

GRPシリーズ

仕様
オゾン流量 1.5L/min ~ 5L/min〔350g/m3(N)時〕
オゾン供給圧力 max.0.3MPa
冷却水温度 20℃±2℃
窒素添加率 酸素流量の0.1%
外形寸法 W483mm×D453mm×H266mm
重量 30~40kg
電源 AC200V 3相
特長
高濃度400g/m3(N)、高圧力0.3MPaのオゾンを生成
19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合
ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能

GRPシリーズ流量特性
GRシリーズ ※縦型ユニットもございます

GRFシリーズ

窒素無添加、なおかつ高濃度のオゾン発生機シリーズです。

仕様
オゾン流量 1L/min ~ 24L/min〔210g/m3(N)時〕
オゾン供給圧力 max.0.15MPa
冷却水温度 20℃±2℃
外形寸法 W483mm×D453mm×H266mm
重量 30~45kg
電源 AC200V 3相
特長
窒素ガス無添加で高濃度400g/m3(N)のオゾンを生成
19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ
小流量から大流量まで豊富なラインナップ
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合
ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能

GRFシリーズ流量特性
GRFシリーズ ※縦型ユニットもございます

SGVPシリーズ

最小限の機能で低価格、コンパクトなシリーズ

仕様
オゾン流量 1.6L/min〔210g/m3(N)時〕
オゾン供給圧力 max.0.3MPa
冷却水温度 20℃±2℃
外形寸法 W210mm×D350mm×H500mm
重量 175kg
電源 AC200V 又はAC100V 単相
特長
高濃度400g/m3(N)、高圧力0.3MPaのオゾンを生成
機能を最小限にして低価格を実現した小型ユニット
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性

SGVP-440流量特性
SGVP-440

SGRC/SGRP/SGRFシリーズ

GRC/GRP/GRFシリーズを組み込み、周辺機器も搭載したシリーズ。
ニーズに対応した幅広いカスタマイズが可能です。

装置例1《高濃度マルチガス供給オゾン発生機SGRP-03JS》
オゾン濃度 350g/m3(N)
オゾン流量 15L/min《5L/min×3Line》
冷却水温度 20℃±2℃
外形寸法 W570mm×D850mm×H1,870mm
重量 360kg
電源 AC200V 3相
装置例2《窒素無添加高濃度オゾン発生機SGRF-03JA》
オゾン濃度 400g/m3(N)
オゾン流量 20L/min
冷却水温度 5℃
外形寸法 W570mm×D850mm×H1,836mm
重量 350kg
電源 AC200V 3相
特長
GRC/GRP/GRFシリーズを搭載し、お客様のニーズに併せて大流量化やマルチガス供給など カスタマイズ対応が可能
オゾン濃度計を内蔵し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
CE・NRTL認証、SEMIスタンダード準拠
ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能

SGRF-03XA流量特性
SGRP-03JS

SG-HEシリーズ

オゾン発生機と周辺機器を搭載したコンパクトなシリーズです。

仕様
オゾン流量 4L/min ~ 14L/min〔210g/m3(N)時〕
冷却水温度 20℃±2℃
外形寸法 W450mm×D600mm×H1,030mm
重量 100~110kg
電源 AC200V 3相
特長
流量や圧力の制御機器を内蔵した独立設置タイプ
小流量から大流量まで幅広いラインナップ
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
ガス配管をフッ素樹脂とSUS鋼から選択可能

SG-HEシリーズ流量特性
SG-HEシリーズ

大流量タイプ(SGUシリーズ)

主仕様
オゾン濃度 300g/㎥(N)
オゾン流量 140L/min、175L/min、210L/min(200g/㎥(N))
外形寸法 W700×D900×H2,154 (140L/min)
冷却水温度 20±2℃
冷却水流量 >48L/min
電源 AC200V  3相
特長
最大210L/minの大流量オゾン生成
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
用途
ALD成膜
SGUシリーズ

超高濃度タイプ

仕様
オゾン濃度 400g/㎥(N)
オゾン流量 20L/min
外形寸法(本体)   W600×D810×H1,850
チラー用冷却水温 30L/min (水温20℃時)
電源 AC200V 3相
特長
400g/㎥(N)以上の高濃度オゾン発生を実現
省フットプリント、コンパクト
水冷式チラー搭載
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
用途
ALD成膜

GRシリーズマルチユニット

主仕様
オゾン濃度 210g/㎥(N)
オゾン流量 1L/min~14L/min
外形寸法(本体)   W483× H266× D454
冷却水温度 20±2℃
冷却水流量 1~10L/min
電源 AC200V 3相
特長
19インチラックへの搭載が可能なユニットタイプ
流量や圧力の制御機器を内蔵
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
高純度/オゾン(オールセラミック構造放電セルを採用)
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
用途
半導体、FDP、その他電子デバイス材料のドライプロセス及びウェットプロセス
GRシリーズ



クリーンオゾン水製造装置

住友のクリーンオゾン水製造装置はクリーンオゾン発生機で生成したオゾンガスを超純水に溶解してオゾン水を生成する装置です。
パーティクルや金属コンタミネーションの溶出を極限まで抑制し、半導体、液晶、その他電子デバイス材料の製造工程において、有機物除去や表面改質などの用途で多くのお客様にご利用頂き、高い評価を頂いています。

適用分野

  • 半導体
  • 各種ウェーハ
  • FDP(LTPS、HTPS、TFT、カラーフィルター、OLED)
  • フォトマスク
  • HDD

SGXシリーズ

独立設置タイプ

仕様
オゾン水濃度 5~150ppm
オゾン水流量 1~90L/min
オゾン水供給圧力 max.0.25MPa
原料ガス 酸素、窒素(濃度減衰抑制対策として二酸化炭素)
電源 AC200V 3相
特長
高濃度、大流量にも対応可能
省フットプリント、コンパクト
安価なランニングコスト(低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命)
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
早い立上りと優れた濃度応答性
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
CE・NRTL認証、SEMIスタンダード適合
停止時の維持管理が不要
硝酸フリーオゾン水も対応可能

SGX-1G21SNCオゾン水流量特性
SGX-1G21SNC

分割タイプ

仕様
オゾン水濃度 5~150ppm
オゾン水流量 1~90L/min
原料ガス 酸素、窒素(濃度減衰抑制対策として二酸化炭素)
電源 AC200V 3相
特長
ユースポイントの近くで溶解させるので配管移送中の濃度減衰を抑制し経済的
フットプリントの低減に貢献(オゾン発生機1台から複数のオゾン溶解部へガス供給可能)
高濃度、大流量にも対応可能
安価なランニングコスト(低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命)
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
停止時の維持管理が不要
硝酸フリーオゾン水も対応可能
1 by N 設計
1 by 3 設計例
SGX-1G21SNC

流量可変タイプ

仕様
オゾン水濃度 5~30ppm
オゾン水流量 1~60L/min
原料ガス 酸素(濃度減衰抑制対策として二酸化炭素)
電源 AC200V 3相
特長
オゾン水の使用量に応じて供給流量を可変(純水使用量を低減)
オゾン水を複数チャンバーへ供給可能
エジェクタ式溶解の採用により優れた濃度応答性を実現
オゾン濃度計と接続し優れた濃度安定性を実現(フィードバック制御)
硝酸フリーオゾン水
安価なランニングコスト(低消費電力、交換部品点数が少ない、放電セルが長寿命)
高耐圧、長寿命の高信頼性放電セル
停止時の維持管理が不要
SGXF


オゾン周辺機器

オゾンガス/オゾン水分解器

オゾン発生機で生成したオゾンガスやオゾン水製造装置で生成したオゾン水を分解、無害化する機器です。
設備への負担を最小限に抑えます。

仕様
ご要求仕様に合せて設計致します
インターロックなどシステム化にも対応します
特長
安価なランニングコスト(電源不要、長寿命)
高濃度オゾンを分解可能
(分解器表面は高温になりますが発火はしません)
容易な維持管理(産業廃棄物として処理可能)

オゾン濃度計

生成したオゾンガス、オゾン水の濃度を測定する機器です。

オゾン濃度計単体での販売承ります。
オゾンガス、オゾン水の濃度測定のご相談承ります。