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について住友精密工業株式会社
https://www.spp.co.jp/住友精密工業グループは、航空機装備品、熱交換器や油圧制御、オゾン発生装置や半導体製造装置、モーションセンサーなど、多彩な分野で独自の精密技術・精密なものづくりによるソリューションを提供しています。
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Toward a promising future
Toward a promising future
当社は、MEMSデバイスの設計、試作、量産のあらゆる過程に対応する開発・製品展開技術を保有しており、ワンストップで製品化を実現できることが特長です。MEMSファンドリーとして、量産実績のあるPZT薄膜をベースにスパッタ成膜からデバイス加工までのサービスを提供するとともに、Si深掘り加工（DRIE）では垂直性、側壁粗さ、CDロスを最適化しながら、世界最高レベルの高選択比・高エッチレートを実現しております。
また、これらの技術提供においてISO 9001認証に基づいた品質管理を徹底しており、お客様のプロジェクトを確かな品質でサポートいたします。
MEMSデバイス設計
MEMSデバイスの構造設計からシミュレーション、プロセス設計まで、お客様の製品アイデアを形にする開発支援を行っております。
MEMSファンドリー開発
試作や小ロット開発に対応し、プロセス条件の検証・最適化を実施。量産を見据えた開発を支援いたします。
MEMSファンドリー量産
確立したプロセスによるMEMS製造で、安定した品質と量産対応を実現。小ロットから本格量産まで対応可能です。
1992年
MEMS 製造装置 IX200 発売
ユーザーラボ設置IX200を社内社外のMEMS開発に提供
MEMSデバイスの基礎研究を開始
1995年
シリコン深掘りエッチング装置 (Si DRIE)
販売開始
●装置開発
SPPテクノロジーズ株式会社
1998年
超小型加速度センサを製造販売開始
●デバイス開発
住友精密工業
1999年
MEMSジャイロ製造販売のため英国BAEと合弁会社を設立後に当社MEMSファンドリーとして機能
●MEMSファンドリー（製造）
2009年
慣性システム姿勢角検出器(AMU) を発売開始
MEMS∞事業部
応用製品（センサ）事業
2023年
新組織MEMS∞(infinity)設立
MEMS技術を進化させながらお客様の要望に応えていく事業を開始
MEMS∞事業部
ファンドリー事業（統括）
住友精密工業株式会社
https://www.spp.co.jp/住友精密工業グループは、航空機装備品、熱交換器や油圧制御、オゾン発生装置や半導体製造装置、モーションセンサーなど、多彩な分野で独自の精密技術・精密なものづくりによるソリューションを提供しています。
住友精密工業株式会社 関係事業所
MEMS∞事業部
応用製品（センサ）事業
住友精密工業は業界に先駆けてMEMSの開発・製造に着手し、センサ応用システムの量産をしています。高精度化を実現しすでに宇宙ロケットの姿勢制御や航路をナビゲーションする誘導制御の用途で使われております。
グループ企業
株式会社シリコンセンシング
システムズジャパン
株式会社シリコンセンシングシステムズは、住友精密工業株式会社とCollins Aerospace社との合弁会社で、加速度センサ、ジャイロセンサ、IMUの開発、製造、販売を行っています。
SPPテクノロジーズ株式会社
https://www.sptcorp.comSPPテクノロジーズ株式会社は、住友精密工業株式会社の100%子会社となります。
MEMS・半導体関連デバイス製造装置（ドライプロセス装置）の開発・製造・輸入・販売を行っており、国内・世界でもトップクラスのシェアを誇る半導体製造装置メーカーです。
〒660-0891 兵庫県尼崎市扶桑町1-10
06-6489-5845