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What's MEMS?
「微小な電気機械システム」という意味の英語「Micro Electro Mechanical Systems」の略称で、半導体のシリコン基板などに、機械要素部品のセンサ・アクチュエータ・電子回路などを統合したマイクロデバイスを指します。MEMSは製造物の小型化、省電力化、高機能化、低コスト化が必要な機器には欠かせないデバイスです。
とは
Our Service
当社はMEMSのデバイス設計からファンドリ開発、量産のあらゆる過程における開発・製品展開技術を持っています。
これにより、お客様は効率的にプロジェクトの展開を行うことができ、ワンストップでの製造を実現できることが我々の最大の特徴です。
世界レベルでの開発事例を持つと共に、MEMSにおける高い専門性・知見を有しているため、初期開発の段階から最終の量産製造過程まで、あらゆる過程でトータルサポートさせていただきます。
| 当社と他社との 対応領域比較表 |
MEMS設計 | MEMS試作 | 量産 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 構造 | プロセス | 6インチ以下 | 6インチ超 | ||
| 設計開発 サービスプロバイダ |
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| ファンドリ 【コンセプト検証から 少数生産対応】 |
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| ファンドリ 【大量生産対応】 |
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「微小な電気機械システム」という意味の英語「Micro Electro Mechanical Systems」の略称で、半導体のシリコン基板などに、機械要素部品のセンサ・アクチュエータ・電子回路などを統合したマイクロデバイスを指します。MEMSは製造物の小型化、省電力化、高機能化、低コスト化が必要な機器には欠かせないデバイスです。
当社では製品製造のごく初期の段階におけるMEMSデバイスの開発段階からサポートを行っています。実現したい最終の目標をご相談いただければ、高い専門性と知見を元にどのような機能性と構造を有するデバイスが最適なのかを提案することも可能です。
開発段階におけるMEMSデバイスの試作にも対応しています。「試作・少量生産の半導体ウエハラインが欲しい」、「使ったことのない新しい材料を半導体ウエハラインで使ってみたい」といったお考えを持つ企業・団体へ、ありとあらゆるプロセスの開発協力を行います。
開発プロセスを経たMEMSデバイスの量産化に向けた工法提案や装置開発に関するサポートを行います。当社で製造装置から開発を行うこともでき、お客様のご状況に応じた柔軟な対応を行うことができます。製造コストや作業工程の最適化を提案いたします。
