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MEMSデバイス

情報化社会を支えるキーデバイス

住友精密は、MEMS技術を生かし、センサやセンサ応用システムに取り組んでいます。
業界に先駆けて量産を開始したMEMSジャイロセンサは、自動車業界で高い評価を得、安全性の向上に寄与してきました。また、様々なセンサを組み込んだ高付加価値システムにも取り組んでおり、今後とも製品展開を進めより高度な情報化社会の実現に貢献していきます。

センサ部門の強み

  • 小型かつ高精度なMEMSジャイロセンサ

MEMSジャイロセンサ

1999年以来、合弁会社であるSilicon Sensing Systemsにて、MEMSジャイロセンサを量産してきました。自動車の横滑り防止装置などに採用され、高い評価を得てきましたが、現在では、小型化市場および高精度市場へと展開を広げています。二足歩行ロボット、自律飛行ヘリ、GPSアンテナ、人工衛星の姿勢制御など、様々な移動体の姿勢制御システムや安全系統の幅広い応用分野で活躍しています。
また、これらジャイロセンサを組み込んだ応用システム(小型姿勢センサユニット、ノースファインダー)や、MEMS技術を生かした新たなデバイスなどにも取り組んでいます。

    • 圧電薄膜型MEMSジャイロセンサ
    • 高精度MEMSジャイロセンサ
    • 小型姿勢センサユニット
    • 圧電薄膜型MEMSジャイロセンサシリーズ
    • 高精度MEMSジャイロセンサシリーズ
    • ノースファインダー

光通信用MEMSデバイス

1990年代から世界に先駆けて研究開発を展開してきたMEMS技術を応用し、光通信業界向けの高品質MEMS素子を開発・製造しています。ジャイロセンサの開発で培ったMEMS素子の各種駆動方式を応用し、高品質で多様な素子を開発・製造できる安定的なサプライヤーとしての地位を築いて参ります。
今後もデータ通信量の増大により、光通信市場はますますの成長が見込まれます。小型化・省電力化・低コスト化といった市場の要請に応え、同市場の拡大とユーザーの利便性に貢献していきます。

    • MEMS VOAシャッタ

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