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Reasons to Choose us

選ばれる理由

Why Partner with Us

当社のMEMS支援が選ばれる理由

MEMS導入やMEMS開発では、「設計は成立するが量産につながらない」「開発委託先の選定に迷う」といった課題が顕在化しがちです。
当社は、MEMS設計・試作・量産のすべてに対応できるワンストップ型のMEMS支援体制を構築しており、
世界トップレベルの技術開発実績と高い専門性を活かし、初期検討から量産立ち上げまで一貫したMEMSサポートを提供いたします。
また、量産フェーズで求められる品質・再現性・安定供給まで見据えた体制を構築しております。

MEMS導入・MEMS開発を伴走するサポート体制

MEMS導入やMEMS開発を初めて検討される場合、技術面だけでなく進め方や体制づくりに不安を感じることも少なくありません。
当社では、MEMS開発委託を検討されているお客様に対し、検討段階から量産立ち上げ、継続的な生産フェーズまで伴走するMEMSサポートを提供しております。

高性能MEMSを実現する技術力と開発・量産実績

MEMSデバイスに求められる性能は用途によって大きく異なります。
当社は、要求仕様に応じた設計・プロセス検討を行い、高性能MEMSの実現を支援してまいりました。
開発段階での検討にとどまらず、量産フェーズまでを想定した技術提案を行える点が強みです。

少量からスケール可能な柔軟なMEMS量産体制

MEMSデバイスの量産においては、最初から大規模量産に進むのではなく、小ロットで検証を重ねながら段階的に量産へ移行するケースも多くあります。
当社では、少量生産から対応可能な体制を整えつつ、将来的な中量産・量産フェーズへの円滑な移行を見据えた生産設計を行っております。
お客様の事業成長に合わせて、無理なくスケールアップできる点が強みです。

設計から量産までを見据えた一貫したMEMS支援体制

MEMSデバイスは、設計・試作・量産が密接に関係するため、各工程を分断して考えると手戻りや想定外の課題が発生しやすくなります。
MEMSデバイス設計、MEMSファンドリー開発、MEMSファンドリー量産を一貫して支援することで、初期段階から量産までをシームレスにつなぐ開発体制を実現しております。

独自プロセスが生み出す再現性と信頼性

設計から量産までを一貫して担えるのは、PZT圧電薄膜プロセスとSi深掘り加工(Si DRIE)という2つのコア技術を自社グループ内に持つからこそです。
いずれも長年の量産実績に裏付けられており、試作段階から安定した再現性と品質を確保できる点が、当社ならではの強みです。

PZT圧電薄膜技術

当社が開発し、関連会社のシリコンセンシングシステムズ社が量産、販売しているジャイロであるCRM/CMSシリーズにて量産実績のあるPZT薄膜をベースに
成膜からMEMSデバイス加工までお客様のニーズに合ったサービスを提供します。

当社PZT膜

一般的なPZT膜

PZT圧電薄膜技術の応用範囲。当社のPZT膜は、アクチュエータ(インクジェットプリンターヘッド、マイクロスピーカー、マイクロポンプ、MEMSマイクロミラー)、トランスデューサ(PMUT)、センサ(ジャイロ、加速度センサ、マイクロフォン、RF-MEMS)など、幅広いデバイスに使用されています。

PZT 圧電 薄膜技術
ALD膜を採用したPZT膜の断面SEM(電子顕微鏡)写真。保護膜、ALD、上部電極、PZT、下部電極の積層構造を示しており、ALD膜によってMEMSアクチュエータの長期信頼性を確保していることを解説しています。

PZT膜の特性を確保しつつ、MEMSアクチュエータの課題である長期信頼性をALD膜を採用し、長期信頼性を確保。

PZT圧電薄膜技術の詳細はこちら

Si深掘り加工技術

MEMSデバイス加工にて量産実績のある住友精密工業(株)グループのSPPテクノロジーズ製Predeusを用いて、垂直性、側壁粗さ、CDロスを最適化しながら、
世界最高レベルの高選択比・高エッチレートを実現し、難易度の高い加工を提供致します。

次世代エッチング装置Predeusを導入し、高均一性にも対応します。

SPPテクノロジーズ製 シリコン深掘り装置

SPPテクノロジーズ製 シリコン深掘り装置
MUS-21 ASE-Predeus

加工例

Processing
example

01 二段加工

二段加工

02 テーパー加工

テーパー加工

03 高アスペクト

高アスペクト

04 ピラー加工

ピラー加工

Si深掘り加工技術の詳細はこちら