MEMSファンドリー量産

MEMS Foundry Mass Production

MEMSファンドリー量産について

研究開発段階で確立したMEMSデバイスを、安定した品質と再現性を維持しながら継続的に製造すること――それがMEMSファンドリー量産です。
MEMSデバイスは構造が微細かつ工程数が多いため、量産を前提としたMEMS製造設計が不可欠です。
当社では、初期段階から量産フェーズまでを一貫してカバーするMEMSファンドリー量産サービスを提供し、
試作から本格的なMEMS量産までをシームレスに支援しております。

MEMS製造プロセスから量産まで一貫対応

MEMS製造では、成膜・リソグラフィ・エッチング・接合といった複数の工程が複雑に絡み合います。
MEMSファンドリーとして、各工程を個別に最適化するだけでなく、量産時の歩留まりや再現性を考慮したトータルプロセス設計を行うことが重要です。
当社のMEMSファンドリーサービスでは、MEMS製造プロセスの構築から量産立ち上げまでを一貫して対応し、
開発段階で得られた成果をMEMS量産へ確実につなげます。

MEMS量産を見据えたプロセス設計と製造体制

MEMS量産では、製造枚数を増やす一方で、品質のばらつきを抑えた安定生産が求められます。
そのため、初期段階から量産を前提としたプロセス条件の最適化が不可欠です。
当社では、8インチ（200mm）ラインを活用したMEMSファンドリー量産体制を構築し、
量産時に必要となる工程管理・品質管理・再現性評価まで含めた支援を行っております。

品質保証体制

MEMSは、従来の半導体素子とは異なり、微小な構造内に機械的要素を有するため、
信頼性および耐久性のテストによって動的機械的システムの挙動を測定することが重要です。
製品の企画・開発から量産過程に至るまでの手順や工程などを品質保証の観点からまとめることで、
お客様からの高い信頼を得ると共に、あらゆるプロセスで双方の高い理解の元に製品製造を行う体制を築いています。

低リスクな小ロットから開始する、MEMS量産移行サポート

将来的な大規模量産への移行に対し、初期段階でリスクや不安を感じるケースは少なくありません。
そこで当社では、小ロットでの立ち上げを通じて量産性や品質を確認しながら段階的に生産規模を拡大し、
本格量産へとスムーズに移行するアプローチを採用しております。
さらに、設計・シミュレーション・試作評価・量産検討までを同一組織内で一貫して行うことで、量産段階での手戻りや
再設計を最小限に抑え、スムーズな本格量産移行を実現しております。