技術情報|慣性システム事業部| 住友精密⼯業株式会社

MEMSとは

Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の頭文字からメムスと呼ばれています。半導体生産にて開発・確立された微細加工技術を駆使･発展使用することにより、2次元集積回路(LSI)ではない3次元機械構造物として製作されるデバイスのことを指します。

集積回路(LSI)が必要としなかった微細加工プロセスやSi深掘りエッチング技術(Si-DRIE)。

ジャイロや加速度センサ、インクジェットプリンターノズル、光通信スイッチ等部品、携帯電話用素子

実用的なジャイロスコープは20世紀初頭に次々と製品化されました。シリコンセンシングはE・スペリーが1913年に英国に設立したSperry Gyroscope Company Ltdを前身会社としており、100年間にわたりジャイロスコープを設計製造した歴史があります。

運動体の加速度や角速度、地球の自転や重力を検知するセンサを指します。

慣性センサ出力に対して演算を行うことで、角度・速度・位置などのセンサの物理量とは異なる情報を提供する装置を指します。

	略称	名称	製品名	出力データ
	略称	名称	製品名	角速度	加速度	姿勢角	方位
Silicon Sensing Systems	慣性センサ	ジャイロ	CRM100/200, CRH03, CRS39	○
	慣性センサ	加速度センサ	CAS200, CAS290		○
	IMU	慣性計測装置	DMU11, DMU41, MRN-01(住友精密工業)	○	○
住友精密工業	VG	姿勢測定装置	AMU Lite, AAU-11	○	○	○
	AHRS	姿勢方位基準装置	GCAH-12C	○	○	○	○

地球の自転角速度を測定できる高感度MEMSジャイロと新開発のアルゴリズムの組み合わせにより実現する画期的な技術です。

真北方位・姿勢角が得られ、真のジャイロコンパスが構築できます。