臭氧部門的優勢

• 高效高性能臭氧發生係統
• 設置能夠提出最佳水處理方案的水工學中心
• 對應難分解性物質分解的AOP (促進氧化) 處理技術

公共和工業領域

臭氧是公共領域和工業領域的水處理和制造過程中不可或缺的技術。
本公司備有從小型到大容量的氣冷式/水冷式高效臭氧發生器，產品種類繁多，可用於上下水、遊泳池、水族館、產業用水、排水、再生水等用排水處理，食品、工業產品的生產工序，以及紙漿、纖維的漂白工序等。
另外，還設置了可進行以臭氧為中心的各種研究開發、實證試驗的“水工學中心”，在為每位顧客提供最佳水處理方案的同時，還衹力於新臭氧利用技術的開發。

• 
  • 通用臭氧發生器 (SAG系列)
• 
  • PSA內置型臭氧發生器 (SGA系列)
• 
  • 中水臭氧處理裝置

難分解性有機物處理領域

利用臭氧的AOP (加速氧化處理) 技術正逐步應用於環境激素樣物質和難分解性有機物的分解處理，其用途正在不斷擴大。
在化學工廠和垃圾處理場等的排水中所含的二惡烷、二惡英、苯酚、氰基等的分解方面擁有大量的供貨業績。

• 
  • AOP處理係統
• 
  • AOP處理係統

半導體和FPD領域

在半導體、FPD、功能性材料等電子領域的最尖端制造工藝中，本公司的臭氧發生器、添加臭氧的超純水制造裝置也發揮了重要作用。
本公司持續開發並投入市場能應對逐年提高要求的微粒 (異物)、金屬雜質的減少及臭氧濃度高濃度化的新產品，世界最高水平的高濃度臭氧發生器不僅適用於降低藥液及超純水使用量的環保清洗工藝，還適用於ALD等新型氧化膜生成工藝。

• 
  • 高濃度臭氧發生器
• 
  • 添加臭氧超純水制備裝置