MEMS裝置／感測器事業
支撐信息化社會的關鍵設備
住友精密利用MEMS技術，衹力於感測器及感測器應用係統。
在業界率先開始量產的MEMS陀螺感測器，在汽車業界獲得了很高的評價，為提高安全性做出了贡獻。此外，我們還衹力於開發嵌入了各種感測器的高附加值係統，今後我們將繼續推廣產品，為實現更高水平的信息化社會做贡獻。
MEMS元器件部門的優勢
- 小型高精度MEMS陀螺儀感測器
MEMS陀螺儀感測器事業
自1999年以來，我們一直在我們的合資企業Silicon Sensing Systems批量生產MEMS陀螺儀感測器。用於汽車的防側滑裝置等，獲得了很高的評價，現在正在向小型化市場及高精度市場擴展。活躍在雙足步行機械人、自主飛行直升機、GPS天線、人造衛星等各種移動體的姿態控制係統和安全係統等廣泛應用領域。
另外，還在衹力於嵌入這些陀螺儀感測器的應用係統(小型姿態感測器單元、北方探測器)，以及利用MEMS技術的新型元件等。
- 壓電薄膜MEMS陀螺儀感測器
- 高精度MEMS陀螺儀感測器
- 壓電薄膜IMU
- 高精度IMU
※IMU (Inertial Measurement Unit) :6軸慣性測量單元
慣性感測器應用產品
本公司產品是通過機械振動硅制的環型振子來檢測運動信息的構造。本結構可實現其他公司產品難以實現的高精度化，本公司從2010年左右開始衹力於提高精度的研究。實現高精度的MEMS陀螺儀已經用於太空火箭的姿態控制和導航路線的感應控制。與過去使用的環形激光型相比，該產品重量輕，功耗低，制造成本低得多，因此預計在航空航天，船舶，鐵路和資源挖掘領域的需求將進一步增加我會的。
今後也將應用至今為止積累的技術，開發制造各種各樣的產品。
- Northfinder TM姿態方向參考係 (AHRS)
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- 姿態角度檢測陀螺儀AAU-11
- 微型冗余慣性感測器MRN-01-SS (IMU)
